島津能量色散X射線分析采用了新技術設計的固態(tài)發(fā)生器、新技術設計的高電流低溫X射線光管、當前電子技術新設計的電路板、新開發(fā)的高強度晶體等，使X射線熒光光譜儀對元素的分析產(chǎn)生了突破，在靈敏度、準確度、安全性、操作簡便性、可靠性、分析速度、功能完備的分析軟件等方面，把XRF分析技術又一次推向新的階段。

 

　　X射線熒光光譜分析技術目前已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機分析領域得到了廣泛的應用，是各種無機材料中主組分分析重要的技術手段之一，各種與X射線熒光光譜相關的分析技術，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。

 

　　島津能量色散X射線分析又分為波長色散型和能量色散型。波長色散型XRF光譜儀由X射線管激發(fā)源，分光系統(tǒng)，探測器系統(tǒng)，真空系統(tǒng)和氣流系統(tǒng)等部分組成。根據(jù)分析晶體的聚焦幾何條件不同，分為非聚焦反射平晶式，半聚焦反射彎晶式，全聚焦反射彎晶式，半聚焦透射彎晶式等。

 

　　其原理是：試樣受X射線照射后，元素的原子內(nèi)殼層電子被激發(fā)，并產(chǎn)生殼層電子躍遷而發(fā)射出該元素的特征X射線，通過探測器測量元素特征X射線的波長（能量）的強度與濃度的比例關系，便可進行定量分析。

 

　　波長色散X射線熒光光譜儀是利用原級X射線或其他光子源激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級X射線）。從而進行物質(zhì)成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。它的優(yōu)點是不破壞樣品，分析速度快，適用于測定原子序數(shù)4以上的所有化學元素，分析精度高，樣品制備簡單。